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真空泵是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品，目前，全球真空泵市場(chǎng)的年銷(xiāo)售額約20億美元，年增長(zhǎng)率在7%左右。不過(guò)，在真空泵產(chǎn)品的高端領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)品牌真空泵并不多，大量的市場(chǎng)份額都被進(jìn)口企業(yè)所把持。

筆者了解到，真空泵的種類(lèi)很多，比如螺桿式真空泵、液環(huán)泵、滑閥泵、旋片式真空泵、羅茨泵、分子泵、干泵、水環(huán)式真空泵等。對(duì)于這些種類(lèi)的泵，專業(yè)人士進(jìn)行了市場(chǎng)分析。

螺桿式真空泵。螺桿式真空泵屬于非接觸型干式泵，是20實(shí)際90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)被廣泛運(yùn)用，市場(chǎng)對(duì)螺桿式真空泵的需求也非常迫切。

液環(huán)泵。液環(huán)泵在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著廣闊的市場(chǎng)。據(jù)悉，在國(guó)外，液環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%。此外，國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上也有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，但關(guān)鍵還是要提高效率、降低能耗。

滑閥泵。筆者了解到，國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。

旋片式真空泵。旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，是真空技術(shù)中較為基本的真空獲得設(shè)備之一。其廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)，需求量巨大。

羅茨泵。羅茨泵是具有一對(duì)同步告訴旋轉(zhuǎn)的鞋底型轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣。

目前，我國(guó)羅茨泵市場(chǎng)發(fā)展快速，技術(shù)上也趨于成熟，其在航空、航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，可在國(guó)內(nèi)推廣和應(yīng)用。

分子泵。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置。

隨著技術(shù)的大幅提升，我國(guó)真空泵企業(yè)逐漸打破國(guó)外壟斷，占領(lǐng)市場(chǎng)。有企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的分子泵轉(zhuǎn)速每分鐘可達(dá)7.2萬(wàn)轉(zhuǎn)到9萬(wàn)轉(zhuǎn)。

干泵。相關(guān)廠家表示，真空干泵的市場(chǎng)需求潛力巨大，尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)中，真空干泵應(yīng)用較多，且多為國(guó)外品牌，國(guó)產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。行業(yè)人士表示，干泵企業(yè)還應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。

水環(huán)式真空泵。水環(huán)式真空泵是一種粗真空泵，開(kāi)始是作為自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及視頻等許多工業(yè)部門(mén)。

目前，水環(huán)真空泵在多品種、密封性能、強(qiáng)度要求、調(diào)節(jié)功能、動(dòng)作性和流通性能方面，都有了長(zhǎng)足的進(jìn)步。